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半導體廢氣處理
點擊數:1165次 添加時間:2018-9-8 [打印] [返回] [收藏]

 

 

       半導體制造工藝業需要多種特殊氣體,大量的酸、堿等化學品以及有機溶劑和揮發性液體等,這些氣體和化學品在半導體制造的不同工藝中使用,產生的廢氣通過排風系統收集并處理,如果沒有經過很好的處理就進行排放的話,不僅影響人的身體健康還惡化大氣環境。

 



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